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TESCAN LYRA3 GMU高分辨场发射SEM/镓离子FIB双束系统,在双束(SEM/FIB)的基础上配备了EDS和EBSD,不但能进行低电压超高分辨的电镜观察,也能利用FIB对试样进行切割、加工、沉积,从事内部和界面观察及全静态三位表征,以及特定图形加工工作。设备还安装了EBSD加热拉伸一体台,可以支持在对样品进行加热或拉伸的同时进行观察分析。

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